Silane Deposition via Gas-Phase Evaporation and High-Resolution Surface Characterization of the Ultrathin Siloxane Coatings

  • Silanabscheidung durch Gasphasenverdampfung und hochauflösende Oberflächencharakterisierung der ultradünnen Siloxanbeschichtungen

Munief, Walid-Madhat; Heib, Florian; Hempel, Felix; Lu, Xiaoling; Schwartz, Miriam; Pachauri, Vivek; Hempelmann, Rolf; Schmitt, Michael; Ingebrandt, Sven (Corresponding author)

Washington, DC : ACS Publ. (2018)
Fachzeitschriftenartikel

In: Langmuir / American Chemical Society
Band: 34
Heft: 35
Seite(n)/Artikel-Nr.: 10217-10229

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